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工艺流程：
1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→阳床→阴床→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
2、采用反渗透水处理与离子交换进行组合制备电子工业超纯水的方式，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
3、采用反渗透与电去离子(EDI)进行搭配制备电子工业超纯水的的方式，这是一种制取超纯水的**工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→反渗透→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点。
